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蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:產(chǎn)品概述:
蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。
設(shè)備用途:
熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過(guò)對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過(guò)程。可在高真空下蒸發(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等領(lǐng)域。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SMART
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問(wèn)  量: 245

詳細(xì)介紹

1.產(chǎn)品概述:

該設(shè)備主要由有機(jī)/金屬源蒸發(fā)沉積室、真空排氣系統(tǒng);真空測(cè)量系統(tǒng);蒸發(fā)源;電控系統(tǒng);配氣系統(tǒng)等部分組成。

2.設(shè)備用途:

熱蒸發(fā)是指把待鍍膜的基片或工件置于真空室內(nèi),通過(guò)對(duì)鍍膜材料加熱使其蒸發(fā)氣化而沉積于基體或工件表面并形成薄膜或涂層的工藝過(guò)程??稍诟哒婵障抡舭l(fā)高質(zhì)量的不同厚度的金屬薄膜,廣泛應(yīng)用于物理,生物,化學(xué),材料,電子等域。蒸鍍薄膜種類:Au, Cr, Ag, Al, Cu, In,有機(jī)物等

3.產(chǎn)品配置:

真空室結(jié)構(gòu):六邊形側(cè)開(kāi)門

真空室尺寸:φ350×370mm

限真空度:≤6.6E-4Pa

沉積源:1個(gè)鎢舟、2個(gè)有機(jī)源

樣品尺寸,溫度:大可放置4片20mmx25mm的基片,基片不加熱,可自轉(zhuǎn),速度5~20轉(zhuǎn)/分;

占地面積(長(zhǎng)x寬x高):約1米x1米x1.9米

電控描述:手動(dòng)

樣品臺(tái):可放置基片,并可能具有旋轉(zhuǎn)、加熱等功能,以滿足不同的工藝需求。例如,加熱功能可以使樣品達(dá)到一定溫度,適應(yīng)某些材料的沉積要求;旋轉(zhuǎn)功能有助于提高薄膜的均勻性。

控制系統(tǒng):采用先進(jìn)的控制系統(tǒng),方便用戶設(shè)置和調(diào)整工藝參數(shù),如蒸發(fā)速率、沉積時(shí)間等。

多種材料沉積能力:可以沉積多種不同的薄膜材料,以滿足不同的應(yīng)用需求。

良好的穩(wěn)定性和可靠性:確保系統(tǒng)能夠長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行,保證薄膜沉積的重復(fù)性和一致性。

可視化操作界面:可能具有直觀的操作界面,方便用戶進(jìn)行操作和監(jiān)控。

不同型號(hào)的 SMART 蒸發(fā)薄膜沉積系統(tǒng)在具體參數(shù)和功能上可能會(huì)存在差異,例如真空度的高低、蒸發(fā)源的類型和功率、樣品臺(tái)的尺寸和可調(diào)節(jié)范圍、膜厚監(jiān)測(cè)的精度等。 

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