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12英寸槽式清洗設(shè)備Pinnacle300平臺適用于集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料、硅基微顯示領(lǐng)域的清洗工藝。該機(jī)臺主要由傳輸模塊、工藝模塊、藥液供給系統(tǒng)、電源柜等組成。傳輸模塊將晶圓傳送到位置,可同時(shí)傳送50片,工藝模塊用于清洗和蝕刻,藥液供給模塊用于高精度藥液配比、加熱、供給、濃度監(jiān)測。
主要用于對硅材料行業(yè)中多晶硅塊進(jìn)行清洗干燥處理
英思特長期致力于半導(dǎo)體等行業(yè)干濕制程設(shè)備、自動供/排液系統(tǒng)、甩干機(jī)等設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及設(shè)備的優(yōu)化。期待與您的合作!
設(shè)備介紹:硅芯清洗機(jī)本設(shè)備為柜體式腐蝕機(jī),整臺設(shè)備均采用進(jìn)口件.基本材質(zhì):箱體材質(zhì):德國茲白色聚丙烯(PP) 門板材質(zhì):德國透明聚氯乙烯(PVC)腐蝕槽材質(zhì):德國自然色聚偏二佛乙烯(PVDF)清洗槽材質(zhì):德國自然色聚丙烯板(NPP)腐蝕槽配有美國聚四佛乙烯加熱器,虹吸上排,傳感器清洗槽配有溢流裝置和N2鼓泡裝置整機(jī)外形美觀,實(shí)用
英思特長期致力于半導(dǎo)體等行業(yè)干濕制程設(shè)備、自動供/排液系統(tǒng)、甩干機(jī)等設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、銷售及設(shè)備的優(yōu)化。期待與您的合作!