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  • GAMA Series6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

    GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿足全部濕法工藝需求,覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應(yīng)用,可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點(diǎn),可支持90nm工藝節(jié)點(diǎn),可兼容6寸和8寸晶圓。

    更新時(shí)間:2024-09-04
    型號(hào):GAMA Series
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:286
  • THEORIS X302系列12英寸立式中高溫氧化爐

    12英寸立式中高溫氧化爐THEORIS X302H主要用于12英寸1000℃-1200℃高溫和超高溫氧化和退火工藝。該機(jī)臺(tái)為立式單腔爐管系統(tǒng),工藝處理過(guò)程實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。THEORIS X302P主要用于12英寸600℃-1000℃氧化及退火工藝。該機(jī)臺(tái)為立式單腔爐管系統(tǒng),工藝處理過(guò)程實(shí)現(xiàn)了高度自動(dòng)化系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、電源柜等部分組成。

    更新時(shí)間:2024-09-04
    型號(hào):THEORIS X302系列
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:301
  • Pinnacle30012英寸槽式清洗設(shè)備

    12英寸槽式清洗設(shè)備Pinnacle300平臺(tái)適用于集成電路、功率半導(dǎo)體、襯底材料、硅基微顯示領(lǐng)域的清洗工藝。該機(jī)臺(tái)主要由傳輸模塊、工藝模塊、藥液供給系統(tǒng)、電源柜等組成。傳輸模塊將晶圓傳送到位置,可同時(shí)傳送50片,工藝模塊用于清洗和蝕刻,藥液供給模塊用于高精度藥液配比、加熱、供給、濃度監(jiān)測(cè)。

    更新時(shí)間:2024-09-04
    型號(hào):Pinnacle300
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:199
  • Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng)

    Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng),用以解決基本工藝問(wèn)題。該系統(tǒng)的高工作壓力意味著,即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結(jié)晶。該系統(tǒng)可在10-40巴的壓力范圍內(nèi)用于不同化合物半導(dǎo)體的結(jié)晶。這種方法支持晶體的工業(yè)化生產(chǎn),例如砷化鎵(GaAs)的工業(yè)化生產(chǎn)可以通過(guò)在最大10巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備實(shí)現(xiàn),而磷化銦(InP)的生產(chǎn)可以在最大40巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備中實(shí)現(xiàn)。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):Kronos
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:215
  • SICma System物理氣相傳輸系統(tǒng)

    SiCma系統(tǒng)專(zhuān)為通過(guò)物理氣相傳輸系統(tǒng)(PVT)的方式生產(chǎn)碳化硅晶體而開(kāi)發(fā)。在此過(guò)程中,粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華,最后沉積在特定準(zhǔn)備的基片上。這項(xiàng)工藝將通過(guò)使用一個(gè)感應(yīng)線圈在千赫茲范圍內(nèi)完成加熱。隨著全球工業(yè)領(lǐng)域環(huán)保意識(shí)的提高,PVA TePla也緊跟時(shí)代步伐,通過(guò)對(duì)該感應(yīng)線圈進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)低能源消耗。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):SICma System
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:188
  • SR110區(qū)熔法硅芯爐

    SR110區(qū)熔法硅芯爐的工作方式與區(qū)熔系統(tǒng)類(lèi)似。該系統(tǒng)使用一個(gè)在高頻感應(yīng)線圈下直徑為100毫米的多晶硅棒(源棒)。根據(jù)硅棒的長(zhǎng)度,在多個(gè)拉動(dòng)工藝中可以產(chǎn)生特定數(shù)量的硅芯;然后這些硅芯被用作西門(mén)子下游工藝中的原棒。通過(guò)隔離閥將接收爐體與工藝爐體分開(kāi),可以將完成的硅芯取出,并立即開(kāi)始下一個(gè)工藝。通過(guò)引入擴(kuò)散到熔體中的工藝氣體可以對(duì)細(xì)桿進(jìn)行摻雜處理。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):SR110
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    瀏覽量:283
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