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6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿(mǎn)足全部濕法工藝需求,覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應(yīng)用,可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點(diǎn),可支持90nm工藝節(jié)點(diǎn),可兼容6寸和8寸晶圓。

  • 產(chǎn)品型號(hào):GAMA Series
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問(wèn)  量: 286

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述:

GAMA系列6/8英寸全自動(dòng)槽式清洗機(jī)滿(mǎn)足全部濕法工藝需求,覆蓋RCA、PR Strip、Solvent、Wet Etch等應(yīng)用,可用于典型0.35um、0.18um工藝節(jié)點(diǎn),可支持90nm工藝節(jié)點(diǎn),可兼容6寸和8寸晶圓

2. 設(shè)備應(yīng)用

  晶圓尺寸

  6、8 英寸

 

  適用材料

  硅,碳化硅,硅基氮化鎵

 

  適用工藝

  預(yù)清洗、去膠清洗、氮化硅去除、金屬去除(Co,Ti)、Recycle 清洗、拋光后清洗、Epi 前清洗、 Epi 后清洗

 

  適用領(lǐng)域

  集成電路、襯底材料、化合物半導(dǎo)體、功率半導(dǎo)體

 

3. 特色優(yōu)點(diǎn)

北方華創(chuàng) GAMA Series 清洗機(jī)在腐蝕均勻性方面表現(xiàn)明顯。腐蝕均勻性對(duì)于保證芯片制造的一致性和穩(wěn)定性具有關(guān)鍵意義。
這款清洗機(jī)通過(guò)精心設(shè)計(jì)的流體流動(dòng)系統(tǒng)、化學(xué)溶液分布機(jī)制以及溫度控制策略,確保在整個(gè)晶片表面實(shí)現(xiàn)高度均勻的腐蝕效果。無(wú)論是在大面積的晶片還是復(fù)雜的圖形結(jié)構(gòu)區(qū)域,都能保持腐蝕程度的一致性。
可能采用了多噴頭均勻噴淋、旋轉(zhuǎn)式清洗等技術(shù),使化學(xué)溶液能夠均勻地覆蓋晶片表面,避免出現(xiàn)局部腐蝕過(guò)度或不足的情況。同時(shí),精準(zhǔn)的溫度控制系統(tǒng)能夠確保整個(gè)清洗過(guò)程中溫度的均勻性,因?yàn)闇囟鹊牟町惪赡軙?huì)影響腐蝕反應(yīng)的速率和均勻性。在實(shí)際應(yīng)用中,即使面對(duì)不同材質(zhì)和厚度的晶片,該清洗機(jī)也能提供出色的腐蝕均勻性,從而有效提高芯片的質(zhì)量和性能。

 

  4.設(shè)備特點(diǎn)

 

  結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)緊湊,占地面積小

 

  模塊化設(shè)計(jì),配置靈活、可擴(kuò)展

 

  成熟的工藝槽設(shè)計(jì),確保工藝穩(wěn)定性

 

  精確的化學(xué)稱(chēng)量系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量工藝

 


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