国产成人精品三上悠亚久久-日韩av在线永久免费观看-国产在线精品欧美日韩电影-亚洲男人的天堂色偷免费

歡迎來到深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司網(wǎng)站!
咨詢熱線

當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  5 刻蝕設(shè)備  >  HSE系列深硅刻蝕機(jī)

深硅刻蝕機(jī)

簡要描述:深硅刻蝕機(jī)HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)構(gòu)布局,能夠減小占地,提升產(chǎn)能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成??蓪?shí)現(xiàn)自動(dòng)化地上下料及自動(dòng)工藝。HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蝕工藝。可以配置手動(dòng)及自動(dòng)傳輸系統(tǒng)。產(chǎn)品配置高密度雙立體等離子體源,中心邊緣進(jìn)氣,快速氣體切換,低頻脈沖下電極系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高速、高深寬比及極小的側(cè)壁粗糙度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):HSE系列
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 335

詳細(xì)介紹

1.產(chǎn)品概述:

HSE M200主要用于4/6/8英寸深硅干法刻蝕工藝??梢耘渲檬謩?dòng)及自動(dòng)傳輸系統(tǒng)。產(chǎn)品配置高密度雙立體等離子體源,中心邊緣進(jìn)氣,快速氣體切換,低頻脈沖下電極系統(tǒng),可以實(shí)現(xiàn)高速、高深寬比、高均勻性及極小的側(cè)壁粗糙度。HSE P300主要用于12英寸硅刻蝕。采用Cluster結(jié)構(gòu)布局,能夠減小占地,提升產(chǎn)能。系統(tǒng)主要由傳輸模塊、工藝模塊、灰區(qū)部件、電源柜等組成??蓪?shí)現(xiàn)自動(dòng)化地上下料及自動(dòng)工藝。

2.設(shè)備應(yīng)用

  HSE M200

晶圓尺寸:

8英寸及以下

適用材料:

硅、SOI、SOG

適用工藝:

深硅刻蝕

適用領(lǐng)域:

微機(jī)電系統(tǒng)、科研領(lǐng)域

 

HSE P300

晶圓尺寸:

8/12英寸兼容

適用材料:

硅、氧化硅、氮化硅

適用工藝:

深槽刻蝕、深孔刻蝕、扇出型封裝硅載體刻蝕、露銅刻蝕等

適用領(lǐng)域:

先進(jìn)封裝

 

 3.設(shè)備特點(diǎn)

HSE M200

雙等離子源和雙區(qū)進(jìn)氣,保證高刻蝕均勻性和高刻蝕速率

兼容性強(qiáng),工藝種類多樣,應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,系統(tǒng)可靠性強(qiáng)

靈活的系統(tǒng)配置,適合研發(fā)、中試線、大規(guī)模生產(chǎn)線的不同應(yīng)用

低擁有成本和運(yùn)營成本

HSE P300

使用立體高密度等離子源,大幅提升刻蝕速率

雙等離子源和雙區(qū)進(jìn)氣,確保較高的均勻性

全自動(dòng)化軟件控制,高產(chǎn)能

低擁有成本和運(yùn)營成本


產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
亚洲欧美日韩国产成人一区| 亚洲综合少妇内射av| 国产91美女黄色在线观看| 久久华人华人免费视频| 国产精品黄色精品黄色大片| 亚洲精品国产熟女久久| 91午夜福利偷拍视频| 在线亚洲精品中文字幕| 91蜜桃传媒一二三区| 高清国产自拍在线观看| 国产一级片内射在线视频| 又大又爽又黄少妇免费视频| 日韩精品一区二区国产| 午夜久久水蜜桃一区二区| 国产午夜精品福利爽爽| 亚洲综合av一区二区| 成年人网站一级黄色免费| 四虎在线观看永久地址| 久久永久免费人妻精品我不卡| 91麻豆精品在线播放| 九九热在线视频观看精品| 精品国产91在线观看| 都市激情亚洲一区二区| 久久aⅴ熟女人妻系列一区| 99久热这里只有精品视频| 在线免费观看成人午夜福利| 亚洲女性标准三围是多少| 国产久热这里只有精品| 女同一区二区在线观看| 国产精品免费观看在线国产| 狼人亚洲一区二区久久| 亚洲精品中文字幕乱码无线 | 小黄片视频免费在线播放| 日本一区二区免费观看| 亚洲国产av国产av| 免费国产亚洲一区二区| 在线免费观看日韩黄片| 国产成人99亚洲综合精品| 亚洲日日夜夜噜噜爽爽| 久久精品亚洲夜色国产av| 一区二区三区有码在线播放|