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Veeco 的 GEN200® MBE 系統(tǒng)是當(dāng)今市場上具成本效益和高容量的多 4 英寸生產(chǎn) MBE 系統(tǒng)。該系統(tǒng)在用于泵浦激光器、VCSEL 和 HBT 等設(shè)備的生長中提供吞吐量、長時間的加工周期和出色的晶圓質(zhì)量。
Veeco 的 GEN20™ MBE 系統(tǒng)是一種超靈活的工具,其設(shè)計可針對 III-V 族和新興材料進(jìn)行配置,包括需要集成電子束技術(shù)的應(yīng)用。該系統(tǒng)采用生產(chǎn)設(shè)計技術(shù),允許可選的集群工具晶圓傳輸系統(tǒng),以實(shí)現(xiàn)理想的實(shí)驗(yàn)室到晶圓廠遷移。
屢獲殊榮的新型 GENxcel™ 系統(tǒng)是在 GENxplor 的基礎(chǔ)上進(jìn)行的擴(kuò)展,GENxplor™ 是自 2013 年 8 月推出以來暢銷的 MBE 系統(tǒng),與 GENxplor 系統(tǒng)的 3“ 功能相比,在單個 4 英寸襯底上具有高質(zhì)量的外延生長。GENxcel 系統(tǒng)具有易于使用的手動傳輸系統(tǒng)、12 個源端口集成到單框架設(shè)計中的現(xiàn)代電子設(shè)備,可實(shí)現(xiàn)最大的實(shí)驗(yàn)室占地面積效率。
GEN10™ MBE 系統(tǒng)是成熟平臺中經(jīng)濟(jì)、最靈活的簇狀工具系統(tǒng),允許多達(dá)三個可配置的、特定于材料的生長模塊。這使得系統(tǒng)利用率高,允許多個研究人員同時使用該系統(tǒng),并在無人值守的情況下進(jìn)行生長和校準(zhǔn)。這與 Veeco 組件技術(shù)相結(jié)合,是 MBE 社區(qū)選擇 GEN10™ MBE 系統(tǒng)的關(guān)鍵因素,無論應(yīng)用是什么。
GENxplor® R&D MBE系統(tǒng)獲得了化合物半導(dǎo)體制造的CSindustry獎,采用Veeco成熟的3英寸生長室設(shè)計,并具工藝靈活性,非常適合UV LED、高效太陽能電池和高溫超導(dǎo)體等新興技術(shù)的材料研究。其高效的單框架設(shè)計將所有真空硬件與機(jī)載電子設(shè)備相結(jié)合,使其比其他 MBE 系統(tǒng)小 40%,從而節(jié)省寶貴的實(shí)驗(yàn)室空間。