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當(dāng)前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  7 真空互聯(lián)系統(tǒng)

  • OCTOS™自動(dòng)薄膜沉積簇工具

    Kurt J. Lesker Company自動(dòng)薄膜沉積簇工具 OCTOS集群工具是經(jīng)過驗(yàn)證的研發(fā)和中試生產(chǎn)系統(tǒng),用于在多個(gè)工藝室之間進(jìn)行真空傳輸。®

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):OCTOS™
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:173
  • customized高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)

    高真空互聯(lián)物理氣相薄膜沉積系統(tǒng)可用于制備光學(xué)薄膜、電學(xué)薄膜、磁性薄膜、硬質(zhì)保護(hù)薄膜和裝飾薄膜等,工藝性能穩(wěn)定、模塊化結(jié)構(gòu),采用行業(yè)優(yōu)質(zhì)的軟件控制系統(tǒng);4英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±2.5%,8英寸鍍膜區(qū)域內(nèi)片內(nèi)膜厚不均勻性:≤±3.5%,測(cè)定標(biāo)準(zhǔn)以Ti靶材,濺射200——500nm厚薄膜,邊緣去5mm,隨機(jī)5點(diǎn)取樣測(cè)定為準(zhǔn)。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號(hào):customized
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
    瀏覽量:673
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