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  • Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng)

    Kronos垂直梯度凝固法系統(tǒng),用以解決基本工藝問題。該系統(tǒng)的高工作壓力意味著,即使其組分具有高蒸氣壓的材料也可以結(jié)晶。該系統(tǒng)可在10-40巴的壓力范圍內(nèi)用于不同化合物半導(dǎo)體的結(jié)晶。這種方法支持晶體的工業(yè)化生產(chǎn),例如砷化鎵(GaAs)的工業(yè)化生產(chǎn)可以通過在最大10巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備實(shí)現(xiàn),而磷化銦(InP)的生產(chǎn)可以在最大40巴壓力的標(biāo)準(zhǔn)版設(shè)備中實(shí)現(xiàn)。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:Kronos
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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  • SICma System物理氣相傳輸系統(tǒng)

    SiCma系統(tǒng)專為通過物理氣相傳輸系統(tǒng)(PVT)的方式生產(chǎn)碳化硅晶體而開發(fā)。在此過程中,粉末狀的原材料在高溫下被加熱和升華,最后沉積在特定準(zhǔn)備的基片上。這項(xiàng)工藝將通過使用一個(gè)感應(yīng)線圈在千赫茲范圍內(nèi)完成加熱。隨著全球工業(yè)領(lǐng)域環(huán)保意識的提高,PVA TePla也緊跟時(shí)代步伐,通過對該感應(yīng)線圈進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計(jì)以實(shí)現(xiàn)低能源消耗。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:SICma System
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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  • SR110區(qū)熔法硅芯爐

    SR110區(qū)熔法硅芯爐的工作方式與區(qū)熔系統(tǒng)類似。該系統(tǒng)使用一個(gè)在高頻感應(yīng)線圈下直徑為100毫米的多晶硅棒(源棒)。根據(jù)硅棒的長度,在多個(gè)拉動(dòng)工藝中可以產(chǎn)生特定數(shù)量的硅芯;然后這些硅芯被用作西門子下游工藝中的原棒。通過隔離閥將接收爐體與工藝爐體分開,可以將完成的硅芯取出,并立即開始下一個(gè)工藝。通過引入擴(kuò)散到熔體中的工藝氣體可以對細(xì)桿進(jìn)行摻雜處理。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:SR110
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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  • FZ-30和FZ-35區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

    FZ-30和FZ-35區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)專為工業(yè)生產(chǎn)直徑達(dá)200毫米(8英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計(jì)。根據(jù)源棒的尺寸,可以拉出長度為2000毫米的晶體。在這個(gè)過程中,晶體的直徑和液態(tài)區(qū)的高度可以用攝像系統(tǒng)來監(jiān)測。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高極限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過程中的污染。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:FZ-30和FZ-35
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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  • customized單腔立式甩干機(jī)

    單腔立式甩干機(jī)適用于晶圓直徑至200mm;25片晶圓單盒工藝;標(biāo)準(zhǔn)的高邊和低邊花籃;可選內(nèi)置電阻率檢測傳感器來控制晶圓的清洗工藝;用冷或熱的N2輔助晶圓干燥;離心頭容易更換。 去靜電裝置安裝于工藝腔室區(qū):去離子水回收;去阻率檢測裝置;機(jī)械手自動(dòng)加載;可放置臺(tái)面操作的設(shè)備、單立、雙腔;去離子水加熱系統(tǒng);底座置放不銹鋼滾輪;溶劑滅火裝置;適用特殊設(shè)計(jì)的花籃。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:customized
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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  • FZ-14M(G)區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)

    FZ-14M(G)區(qū)熔晶體生長系統(tǒng)為制備單晶硅晶體樣品而設(shè)計(jì)開發(fā),該系統(tǒng)用于工業(yè)多晶硅生產(chǎn)中的材料分析。生產(chǎn)過程中的小型多晶體樣品在氬氣環(huán)境中被感應(yīng)熔化,并在籽晶上結(jié)晶,形成單晶,然后進(jìn)行光譜分析,以檢測和記錄所生產(chǎn)的多晶硅質(zhì)量。該系統(tǒng)采用無接觸熔化工藝,通過使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高極限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過程中的污染。

    更新時(shí)間:2024-09-05
    型號:FZ-14M(G)
    廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
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