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在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經(jīng)過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細(xì)小的液滴

槽式濕法刻蝕清洗設(shè)備 應(yīng)用領(lǐng)域：RCA清洗，濕法去膠，介質(zhì)層濕法刻蝕，金屬層濕法刻蝕，爐管前清洗等

充氮型程控烤膠機(jī) 產(chǎn)品性能： 1.充氮烤膠機(jī)是在普通基礎(chǔ)上增加密封蓋和氮氣注入口，保證氮氣均勻通入烤膠機(jī)內(nèi)部形成惰性氣體保護(hù)氣氛。 2.充氮烤膠機(jī)最高溫度可達(dá)到300℃，可實現(xiàn)控溫在±0.2℃以內(nèi)，溫度分辨率在0.1℃，表面溫度均勻性小于1%的精確控溫

實驗型勻膠機(jī) 技術(shù)參數(shù)： 1.適用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸標(biāo)準(zhǔn)晶圓，非標(biāo)準(zhǔn)基片可定制載物盤 2.自動滴膠功能 3.支持去邊、背洗、勻膠、顯影、清洗、控溫等功能模塊個性化定制 4.轉(zhuǎn)速范圍：20-10000rpm 5.轉(zhuǎn)速分辨率：±1rpm 6.加速度可調(diào)范圍：20-50000rpm/s 7.單步時長：3000s 8.時間分辨率：0.1s