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簡要描述：在噴涂法中，噴嘴將要涂抹的溶液噴在晶圓上。經過優(yōu)化后的晶圓上方噴嘴移動路徑可以實現(xiàn)在襯底上均勻的涂層。 噴涂所用的液體通常粘度極低，以確保形成細小的液滴
產品型號：AS8廠商性質：經銷商更新時間：2024-09-06訪 問 量： 769產品分類
Product Category詳細介紹
1.產品介紹：
AS8適用于崎嶇表面的手動噴霧涂膠機,AS8涂膠機可以滿足實驗室和試產環(huán)境下常用工藝的需要，對于起伏臺階幾微米到600微米以上的三維微結構加工，都是理想的工具。SUSS AS8涂膠機也可用于生產環(huán)境。
2.產品優(yōu)勢：
跨越大起伏形貌的圖案化賦能技術
頂部邊緣覆蓋的保形涂膠，且能避免溝槽中堆膠。
噴霧設計，可實現(xiàn)工藝穩(wěn)定性與重復性的優(yōu)化
基板尺寸最大直徑為200 mm，方形基板最大邊長為 6"
最多可有2個獨立的噴霧噴膠系統(tǒng)，以避免交叉污染
帶有MMC控制器軟件的觸摸屏
全部工藝參數(shù)可在工藝菜單中編程
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