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KS-S150星型全自動涂膠顯影機用于LED-PSS工藝的涂膠顯影制程及化合物半導體的涂膠顯影等制程?？杉嫒菟{寶石、砷化鎵和碳化硅等材質的晶圓，產品涉及多個應用領域，涂膠機產能大于190片/小時。設備通過了CSA認證。

KS-FT200/300系列堆疊式高產能前道涂膠顯影機，為我司自主研發(fā)的突破晶圓前道28nm工藝節(jié)點及以上工藝制程，適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC，SOC，SOD，SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機臺。支持與光刻機聯(lián)機作業(yè)。該系列機臺通過各種行業(yè)認證，占地面積小、可靠性高、易于維護，滿足各種功能芯片制程需求。

織雀™PL-3D Premium 是托托科技自主研發(fā)的高精密微3D光刻設備， 最高光學分辨率可達1μm，支持最大50 mm×50 mm×50 mm的加工尺寸，設備還支持對準套刻功能，可在已有結構表面進行多材料的駁接打印，在復雜三維微納結構、高深寬比微納結構以及復合材料三維微納結構制造方面具有突出的潛能和優(yōu)勢，而且還具有制造周期短、打印成本低、成型精度高、可使用材料種類多、無需模具直接成型的優(yōu)點

BIO系列是生命科學版的無掩膜紫外光刻機，無掩膜光刻機具有更高的深寬比，能滿足生命科學領域的特殊需求。它主要用于制備像微流控芯片之類的具有特定需求的樣品 。在微流控芯片的制造過程中，其高深寬比和高靈活性的特點得以展現(xiàn)，可確保芯片的質量和性能。這使得它成為生命科學研究和相關應用中的重要工具。BIO 系列的出現(xiàn)為生命科學領域帶來了新的機遇。

Speed系列是高速版的無掩膜版紫外光刻機，其無掩膜光刻機配備了先進的高速空間光調制器以及高功率紫外激光器。這一系列的光刻機不僅保證了高精度和高靈活性，更在這一基礎上，擁有了更高的光刻效率。其的性能特點使其特別適合小批量生產的場景。在該場景中，它能夠發(fā)揮出其高效的優(yōu)勢，為生產帶來更高的效率和更好的質量。Speed 系列為相關產業(yè)提供了更優(yōu)質的選擇，滿足了市場對于高效率、高質量生產的需求

ACA系列是科研版的無掩膜版紫外光刻機，其基于空間光調制技術，實現(xiàn)了數(shù)字掩膜光刻，靈活性使其成為科學研究。設備搭載長壽命、高功率的紫外光源，設備穩(wěn)定，上手簡單。其的原位光繪和交互式套刻指引功能，讓光刻和套刻更加容易和精準。ACA系列設備為科研工作提供了強大的支持，助力科學研究領域的發(fā)展和創(chuàng)新。