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區(qū)熔晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:FZ-14 區(qū)熔晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)是專為工業(yè)生產(chǎn)直徑達(dá)100毫米(4英寸)的單晶硅晶體而設(shè)計(jì)。根據(jù)源棒的尺寸,可以拉出長(zhǎng)度達(dá)1. 1米的晶體。在這個(gè)過(guò)程中,晶體的直徑和液體區(qū)的高度可以通過(guò)攝像系統(tǒng)來(lái)監(jiān)測(cè)。并且該系統(tǒng)的上部主軸和線圈都是自動(dòng)定位的。該系統(tǒng)采用無(wú)接觸熔化工藝,通過(guò)使用渦輪分子泵和超純氬氣作為工藝氣體,產(chǎn)生高極限真空環(huán)境,有效地防止了工藝過(guò)程中的污染,同時(shí)還能將氮?dú)庖允芸氐姆绞揭牍に嚑t體。

  • 產(chǎn)品型號(hào):FZ-14
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問(wèn)  量: 355

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品數(shù)據(jù)概覽:

材料:硅

晶體

晶體 1,100 mm

晶體拉動(dòng)長(zhǎng)度: 長(zhǎng)達(dá)100 mm (4″)

晶體直徑: 2.5 x 10-5 mbar

極限真空度: 0.5 bar(g)

發(fā)電機(jī)

輸出電壓: 30 kW

頻率: 2.4 MHz

上軸

進(jìn)料速度: 最高30 mm/min

上部旋轉(zhuǎn): 最高35 rpm

下軸

拉動(dòng)速度: 最高 30 mm/min

下部旋轉(zhuǎn): 最高 30 rpm

尺寸規(guī)格

高度 6,280 mm

寬度: 2,750 mm

深度: 3,000 mm

重量(總): 4,900 kg

區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法為生產(chǎn)高電阻率的超純硅單晶提供了技術(shù)可行性,該技術(shù)可應(yīng)用于高性能電子和半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域。其另一優(yōu)點(diǎn)是可以從氣相中連續(xù)摻入,這使得在整個(gè)晶體的電阻率沿長(zhǎng)度方向保持一致。因此,幾乎可以在整個(gè)晶體上均勻地實(shí)現(xiàn)所需的電性能。由于電荷載流子的高壽命和極低的氧含量(無(wú)坩堝工藝),FZ晶體同樣也適用于光伏行業(yè)。

區(qū)熔(FZ)技術(shù)作為提純方法與CZ直拉工藝等競(jìng)爭(zhēng)方法相比,FZ工藝的優(yōu)勢(shì)在于只有緊鄰感應(yīng)線圈的一小部分晶體需要被熔化,無(wú)需使用石英坩堝(每爐次耗用一個(gè)),可實(shí)現(xiàn)高拉速,因此降低了耗材成本的同時(shí)也降低了能源成本。此外,無(wú)論是從硅還是其他合適的材料中提取的晶體,可以通過(guò)多次處理,顯著地提高純度。


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