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CMP后清洗機(jī)

簡要描述:GNP CLEANER-412R型CMP后清洗機(jī)集成了兩個雙刷站,設(shè)計緊湊,占地面積小,可清洗(4“~12“)晶圓。

  • 產(chǎn)品型號:GNP CLEANER-412R
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-04
  • 訪  問  量: 360

詳細(xì)介紹

1. 基本參數(shù)

適用晶圓尺寸:100mm(4") ~ 300mm(12")

配置:輸入噴淋清洗,兩個雙面刷清洗和旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選:分離QDR)

清洗機(jī)尺寸:1610w 1260d 1640hmm電刷尺寸:070(外徑)031(內(nèi)徑)170()毫米

預(yù)清洗工位:DIW噴霧清洗,工位間DIW帷幕清洗

輥刷工位

化學(xué):nh4ohDIW

刷頭型式:PVA刷頭,可同時清洗晶圓片的正反面

刷位調(diào)節(jié):手動控制(可用刷隙范圍:-10mm ~ 2mm)

轉(zhuǎn)速:<滿量程的±5%范圍30 ~ 400rpm

化學(xué)品供應(yīng):4個噴嘴和通過毛刷

可用化學(xué)品:2個化學(xué)品[NH4OH]

化學(xué)和DI流量:<滿量程的±5%。

轉(zhuǎn)站

選項:超高速掃描

旋轉(zhuǎn)速度:最高2500轉(zhuǎn)/DI漂洗/ N2

控制工藝流程:手動加載,自動順序,濕/干液晶觸摸屏顯示器,程序控制PLC式。



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