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當前位置:首頁  >  產(chǎn)品中心  >  其他前道工藝設備  >  6 清洗設備  >  GNP CLEANER-812LCMP后清洗機

CMP后清洗機

簡要描述:GNP CLEANER-812L型CMP后清洗機集成了兩個雙刷站,設計緊湊,占地面積小,可清洗(8“~12")晶圓。

  • 產(chǎn)品型號:GNP CLEANER-812L
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 373

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

適用晶圓尺寸:200mm(8")和300mm(12")

配置:獨立配置4個清洗工位,DIW刀預清洗,2個雙面滾刷清洗,N2吹旋轉(zhuǎn)漂洗干燥(可選分離式QDR)清潔器尺寸:1,970W 975D 1,380Hmm

電刷尺寸:70(外徑)32(內(nèi)徑)320()毫米

預清洗工位:DIW噴霧清洗,工位間DIW帷幕清洗

輥刷工位

化學:nh4oh<1%)或DIW

刷型:雙面PVA

轉(zhuǎn)速:<滿量程的±2%范圍30 ~ 300rpm

化學品供應:4個噴嘴和通過刷子

可用化學:2化學[NH4OH]            

化學品流量:滿量程< 1L/min

DI流量:滿量程<5L/min

轉(zhuǎn)站

旋轉(zhuǎn)速度:2500轉(zhuǎn)/DIW沖洗/ N2

控制工藝:自動上片,自動順序,濕進/干出

程序控制:PC & PC觸摸監(jiān)控,程序可編程,計算機網(wǎng)絡可比


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