單晶圓刻蝕系統(tǒng)

簡要描述：憑借在蝕刻GaN，SiC和藍寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗，我們的技術既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。
PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統(tǒng)為得到更為精細的刻蝕效果提供了智能解決方案，使您在行業(yè)中能保持競爭優(yōu)勢。

產(chǎn)品型號：PlasmaPro 100 Polaris
廠商性質：經(jīng)銷商
更新時間：2024-09-05
訪問量： 245

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類

Product Category

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

憑借在蝕刻GaN，SiC和藍寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗，我們的技術既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統(tǒng)為得到更為精細的刻蝕效果提供了智能解決方案，使您在行業(yè)中能保持競爭優(yōu)勢。

2. 特色參數(shù)

高效的刻蝕速率

低購置成本

為腐蝕性的化學成分而設計

出色的刻蝕均勻性

適用于藍寶石的靜電壓盤技術

藍寶石和硅上的GaN

高導通抽氣系統(tǒng)

可與其它PlasmaPro系統(tǒng)集成

主動冷卻電 - 在刻蝕過程中保持樣品溫度。

高功率ICP源 - 產(chǎn)生高密度等離子體。

可靠的硬件且易于維護 - 可保持長時間正常運轉。

磁場墊環(huán) - 增強離子的控制和均勻性。

靜電壓盤技術 - 適用于藍寶石，以及藍寶石和硅基的GaN。

加熱的腔室內襯 - 優(yōu)化以減少腔壁沉積。

先進的自動匹配單元（AMU） - 提供快速，高效和準確的匹配，確保了工藝的高度精準重復性

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細地址：
補充說明：
驗證碼：

請輸入計算結果（填寫阿拉伯數(shù)字），如：三加四=7

国产成人精品三上悠亚久久-日韩av在线永久免费观看-国产在线精品欧美日韩电影-亚洲男人的天堂色偷免费

單晶圓刻蝕系統(tǒng)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細地址：

補充說明：

驗證碼：