1. 產品概述

PD-270STLC是一種低溫(80 ~ 400°C)、高速(>300 nm/min)的等離子體增強CVD系統(tǒng)，可用于大規(guī)模生產。Samco的液態(tài)源CVD系統(tǒng)采用自偏置沉積技術和液態(tài)TEOS源，以低應力沉積SiO2薄膜，從薄膜到厚的薄膜（高達100 µm）。該系統(tǒng)通過采用大氣盒裝載和?236毫米的托架實現(xiàn)了高產量，可安裝三個?4英寸的晶圓。

2. 設備用途/原理

塑料材料上保護膜的沉積在3D LSI的通孔側壁上沉積絕緣膜。光波導的制造（光纖芯/包層）。制造用于微型機械生產的面罩。覆蓋高縱橫比結構，如MEMS器件。SAW設備的溫度補償膜和鈍化膜。

3. 設備特點

大加工尺寸為?236mm的托架（?3" x 5, ?4" x 3, ?8" x 1）。陰耦合自偏析沉積技術可以實現(xiàn)低應力薄膜的高速（>300nm/min）沉積。通過低溫沉積，可以在塑料表面上沉積薄膜。高縱橫比結構的優(yōu)秀階梯覆蓋率。使用鍺、磷、硼液源控制折射率。優(yōu)異的工藝均勻性和可重復性。