當前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導體前道工藝設備 >
產(chǎn)品分類
Product Categorylaurell的H6-23型的勻膠機結(jié)構(gòu)緊湊,具有優(yōu)良的功能,設計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款 650 系列 HL 涂布機系統(tǒng) 將 可容納最大 150mm 晶圓和 5 英寸 × 5 英寸 (127mm×127mm)基板, 最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM (基于ø00mm硅片)。
H6-8型勻膠機機結(jié)構(gòu)緊湊,具有優(yōu)良的功能,設計為最容易安裝在手套箱中的旋涂機。這款 650 系列 HL 涂布機系統(tǒng) 將 可容納最大 200mm 晶圓和 7 英寸 × 7 英寸 (178mm×178mm)基板, 最大轉(zhuǎn)速為 12,000 RPM (基于100mm硅片)。
用于 5G、光子學和 CMOS 的 Propel 300mm GaN MOCVD 系統(tǒng) 全自動單晶圓簇系統(tǒng)可在 300 毫米基板上生產(chǎn) 5G 射頻、光子學和高級 CMOS 器件。
Propel HVM GaN MOCVD 系統(tǒng),用于電源、5G 射頻和光子學,單晶圓反應器技術(shù)為電源、5G 射頻和光子學應用提供高效、高質(zhì)量的氮化鎵基器件
用于電池、太陽能和柔性電子產(chǎn)品的功能性原子層沉積涂層。 Genesis ALD 是涂布任何卷筒格式基材以及多種功能應用的理想選擇。
適用于光電應用的 Lumina AS/P 金屬有機物化學氣相沉積 (MOCVD) 系統(tǒng)