1.產品概述：

Laurell的WS-650-15B型勻膠機結構緊湊，具有先進的功能。這款650系列系統(tǒng)將可容納高達300mm的晶圓和9英寸×9英寸（229mm×229mm）基板，大轉速為12,000RPM（基于100mm硅片）。

2.設備原理：

利用電機高速旋轉時所產生的離心力使膠液均勻地涂敷在基底材料的表面，形成一層微米或納米厚度的均勻薄膜。

3.產品特色：

650系列過程控制器采用堅固的微處理器，并使用其隨附的PC軟件（編寫在面向對象的編程語言中），它在過程中都實現(xiàn)了高的靈活性定義和使用。該控制器允許操作員在流程執(zhí)行過程中進行實時交互，包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。該系統(tǒng)可以并且將通過可下載的固件修訂版在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。

650系列控制器也可以與帶有Spin3000（Laurell的過程管理軟件）的PC結合使用。使用PC增加了在運行過程、遠程操作、編程或通過LAN或Internet進行通信時記錄過程的能力。該軟件免費提供，使操作員能夠創(chuàng)建虛擬過程模擬，甚至超出硬件安裝的旋轉處理器的能力，實際上讓他們在進入過程之可以嘗試一下。所有650個系統(tǒng)都可以通過簡單的插件模塊進行升或重新使用，而無需返回工廠，無論是實際還是虛擬，并且可以包含幾乎無限數(shù)量的流程和步驟。