国产成人精品三上悠亚久久-日韩av在线永久免费观看-国产在线精品欧美日韩电影-亚洲男人的天堂色偷免费

歡迎來到深圳市矢量科學儀器有限公司網站!
咨詢熱線

當前位置:首頁  >  產品中心  >  半導體前道工藝設備  >  3 CVD  >  AD-230LP等離子體沉積ALD

等離子體沉積ALD

簡要描述:等離子體沉積ALD AD-230LP是一種原子層沉積(ALD)系統(tǒng),能夠在原子水平上控制薄膜厚度。有機金屬原料和氧化劑交替供給反應室,僅通過表面反應進行薄膜沉積。該系統(tǒng)具有負載鎖定室,且不向大氣開放反應室,因此能夠實現(xiàn)薄膜沉積的優(yōu)良再現(xiàn)性。

  • 產品型號:AD-230LP
  • 廠商性質:經銷商
  • 更新時間:2024-09-06
  • 訪  問  量: 290

詳細介紹

1. 產品概述

AD-230LP是一種原子層沉積(ALD)系統(tǒng),能夠在原子水平上控制薄膜厚度。有機金屬原料和氧化劑交替供給反應室,僅通過表面反應進行薄膜沉積。該系統(tǒng)具有負載鎖定室,且不向大氣開放反應室,因此能夠實現(xiàn)薄膜沉積的優(yōu)良再現(xiàn)性。

2. 設備用途/原理

氮化膜(AlN、SiN)的形成和低溫形成的氧化膜(AlOx、SiO2)。電子設備的閘門絕緣子。半導體、有機EL等的鈍化膜。半導體激光器的反射面MEMS等3D結構上的沉積。石墨烯上的沉積碳納米管保護膜粉末涂層。

3. 設備特點

可以在原子層水平上實現(xiàn)均勻的層控制。可實現(xiàn)高縱橫比結構的共形沉積。具有優(yōu)良的平面內均勻性和再現(xiàn)性,實現(xiàn)了穩(wěn)定的工藝。采用反應室結構,優(yōu)化了原料的氣路和氣體流,抑制了粒子。通過采用電容耦合等離子體(CCP)系統(tǒng),使反應室體積小化,縮短了氣體吹掃時間,加快了一個循環(huán)的速度。


產品咨詢

留言框

  • 產品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細地址:

  • 補充說明:

  • 驗證碼:

    請輸入計算結果(填寫阿拉伯數(shù)字),如:三加四=7
午夜一级成年大片在线| 老熟女乱色一区二区三区| 亚洲综合色婷婷七月丁香| 美女偷拍厕所尿尿嘘嘘| 网友自拍人妻一区二区三区三州| 青青草最新在线视频播放| 国产午夜视频免费观看| 久久av天堂在线观看| 久久精品av一区二区免费| 亚洲av成人免费在线| 青青草原精品国产亚洲av| 黑人巨大一区二区三区| 中文字幕一区二区在线资源| 人妻少妇精品视频专区vr| 亚洲精品一区二区区别| 亚洲一区二区三区我不卡| 亚洲欧美综合伊人看片综合| 女人被躁到高潮嗷嗷网站| 亚洲女同一区二区三区在线| 亚洲午夜精品免费福利| 成人区男人天堂av网| 日本中文字幕激情在线| 欧美精品狂野欧美成人| 国产一区二区三区蜜桃视频 | 日本特级黄色一区二区三区 | 日本韩国国产三级在线| 97国产成人精品视频免费| 亚洲中文字幕在线不卡| 久久精品中文字幕一区二区三区| 久久人午夜亚洲精品| 亚洲乱色一区二区三区丝袜| 国产欧美日韩精品国产| 久久久久久国产精品亚洲| 亚洲精品中文字幕一二三| 亚洲人成免费观看网站| 午夜一区二区三区在线观看| 九九视频免费在线播放| 日韩人妻av在线电影| 四虎视频在线观看免费| 网友自拍成人在线视频| av免费在线不卡一区|