国产成人精品三上悠亚久久-日韩av在线永久免费观看-国产在线精品欧美日韩电影-亚洲男人的天堂色偷免费

歡迎來(lái)到深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司網(wǎng)站!
咨詢熱線

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  3 CVD  >  SENTECH Depolab 200開(kāi)蓋等離子體沉積系統(tǒng)PECVD

開(kāi)蓋等離子體沉積系統(tǒng)PECVD

簡(jiǎn)要描述:SENTECH Depolab 200 是基本的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 系統(tǒng),適用于沉積用于蝕刻掩模、膜和電隔離膜以及許多其他材料的介電膜。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SENTECH Depolab 200
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-04
  • 訪  問(wèn)  量: 289

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

SENTECH Depolab 200 是基本的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積 (PECVD) 系統(tǒng),適用于沉積用于蝕刻掩模、膜和電隔離膜以及許多其他材料的介電膜。結(jié)合了用于均勻薄膜沉積的平行板電極設(shè)計(jì)的優(yōu)點(diǎn)和靈活的直接加載設(shè)計(jì)。從 2 英寸至 200 毫米晶圓和樣品片的標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用開(kāi)始。

2. 成本效益

該系統(tǒng)將平行板等離子體源設(shè)計(jì)與直接負(fù)載相結(jié)合。

3. 可升級(jí)性

根據(jù)其模塊化設(shè)計(jì),SENTECH Depolab 200 可升級(jí)為更大的泵送裝置、用于應(yīng)力控制的低頻電源和額外的燃?xì)夤芫€。

4. 操作軟件

用戶友好的強(qiáng)大軟件包含在 GUI、參數(shù)窗口、配方編輯器、數(shù)據(jù)記錄和用戶管理中。

5. 靈活性和模塊化

SENTECH Depolab 200 PECVD 系統(tǒng)配置為在高達(dá) 400 °C 的溫度范圍內(nèi)沉積 SiO2、SiNx、SiONx 和 a-Si 薄膜。 該系統(tǒng)特別適用于用于蝕刻掩模、膜、電隔離膜等的介電膜沉積。

SENTECH Depolab 200 由先進(jìn)的硬件和 SIA 操作軟件控制,具有客戶端-服務(wù)器架構(gòu)。一個(gè)經(jīng)過(guò)充分驗(yàn)證的可靠可編程邏輯控制器(PLC)用于所有組件的實(shí)時(shí)控制。









產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說(shuō)明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
国产精品乱码精品久久久| 高清中文字幕一区二区三区| 在线观看日韩三级av| 美女主播亚洲一区二区三区| 精品国产三级a 在线| 少妇肥臀一区二区三区| 日本视频三区在线播放| 国产黄色一区二区三区| 久久超碰97中文字幕亚洲| 国产高清在线精品一区不卡| 久久永久免费人妻精品我不卡| 国产精品午夜视频免费观看 | 成人av动漫蜜桃在线| 日本不卡一区高清二区| 亚州av不卡在线观看| 97超碰97资源在线| 久久青草视频在线观看| 日韩欧美高清一区二区| 一区二区三区看美女视频| 亚洲欧美精品一区二区三区| 国产一区国产二区自拍| 日本女同专区一区二区三区| 亚洲成人爱情动作片在线观看| 亚洲老妇性生活深喉高清中文字幕| 新的哥哥中文字幕一区二区| 久精品久久精品久久精品| 国产一区二区日韩在线| 国产av无区亚洲av麻豆| 日本亚洲午夜一区二区| 久久日韩人妻中文字幕| 浮力草草日韩欧美三级| 亚洲综合在不卡在线国产另类| 欧美日日夜夜添遇视频| 色吊丝中文字幕在线观看| 日本一区二区三区不| 色婷婷色丁香久久婷婷| 欧美午夜视频一区二区福利| 国产大屁股一区二区三区| 国产精品亚洲一区二区在| 开心五月婷婷综合在线| 日韩精品视频一区二区三区|