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掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)

簡要描述：MA200 3代掩模對準(zhǔn)光刻機(jī)專為大批量生產(chǎn)而設(shè)計，適用于200毫米以下晶圓和方形襯底的自動化加工。本系統(tǒng)集全場光刻技術(shù)與多種創(chuàng)新功能于一身。使其成為眾多應(yīng)用的優(yōu)秀系統(tǒng)，例如生產(chǎn)厚膠工藝MEMS、有凹凸圖形的 3D 結(jié)構(gòu)以及先進(jìn)封裝應(yīng)用，如3D封裝、扇出封裝、凸點封裝及化合物半導(dǎo)體和圖像傳感器。

  • 產(chǎn)品型號：MA200 Gen3
  • 廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-08-27
  • 訪  問  量： 417

詳細(xì)介紹

MA200 3代提供適應(yīng)眾多生產(chǎn)過程的智能化解決方案。多樣化的對準(zhǔn)方案、靈活可調(diào)的鏡頭系統(tǒng)和特殊附加選項使本系統(tǒng)成為處理各種不同工藝的全能設(shè)備。

高度自動化且切實節(jié)省寶貴的處理時間。這也體現(xiàn)在細(xì)節(jié)方面，例如選擇自動更換濾光片，以便維持低運營成本。

MA200 3 代在設(shè)計方面著重凸出用戶友好性。如可調(diào)節(jié)高度的顯示器、符合人體工程學(xué)的I / O接口、連續(xù)運行期間更換晶圓盒和直接觀看曝光模塊等特性大大簡化了設(shè)備操作，即使是在高負(fù)荷工作時。

憑借其廣泛的附加選項，第 3 代 MA200 很容易就能達(dá)到特種光刻工藝的要求。


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