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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  3 CVD  >  G10-碳化硅碳化硅沉積系統(tǒng)

碳化硅沉積系統(tǒng)

簡(jiǎn)要描述:碳化硅沉積系統(tǒng)G10-碳化硅150 mm 和 200 mm – 支持雙晶圓尺寸 – 為您的未來(lái)投資提供保障市場(chǎng)上最高的晶圓產(chǎn)量 / m2市場(chǎng)上晶圓出色的運(yùn)行過(guò)程性能高度均勻、低缺陷的 SiC 外延工藝,可實(shí)現(xiàn)最大的芯片良率

  • 產(chǎn)品型號(hào):G10-碳化硅
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 293

詳細(xì)介紹

1 產(chǎn)品概述:

      碳化硅沉積系統(tǒng)是一種專門用于生產(chǎn)碳化硅(SiC)材料的設(shè)備,它采用化學(xué)氣相沉積(CVD)或其他相關(guān)技術(shù),在特定條件下將碳和硅元素以氣態(tài)形式引入反應(yīng)室,并通過(guò)化學(xué)反應(yīng)在基底上沉積形成碳化硅薄膜或晶體。該系統(tǒng)在半導(dǎo)體、光伏、新能源汽車等行業(yè)中具有廣泛應(yīng)用,是制備高性能碳化硅器件的關(guān)鍵設(shè)備之一。

2 設(shè)備用途:

  半導(dǎo)體行業(yè):用于制備碳化硅基功率器件,如MOSFET、肖特基二極管等,這些器件在電動(dòng)汽車、光伏逆變器、軌道交通等領(lǐng)域具有重要應(yīng)用。

  光伏行業(yè):在光伏逆變器中使用碳化硅功率器件可以提高太陽(yáng)能轉(zhuǎn)化效率,降低系統(tǒng)成本。

  新能源汽車:碳化硅功率器件在電動(dòng)汽車的電機(jī)控制器、電池管理系統(tǒng)等關(guān)鍵部件中發(fā)揮著重要作用,有助于提高車輛性能、降低能耗。
3.
設(shè)備特點(diǎn)

化合物半導(dǎo)體沉積系統(tǒng)通常具備以下特點(diǎn):

  1. 高精度與均勻性:

      碳化硅沉積系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)高精度的沉積控制,確保薄膜或晶體的厚度、成分和結(jié)構(gòu)的均勻性。

      這對(duì)于提高器件的性能和可靠性至關(guān)重要。

  1. 多功能性:

      系統(tǒng)支持多種沉積方法和工藝參數(shù)調(diào)整,以滿足不同材料和器件的制備需求。

      可以制備出具有不同電阻率、熱導(dǎo)率等特性的碳化硅材料。

  1. 高溫與穩(wěn)定性:

      碳化硅沉積過(guò)程通常需要在高溫條件下進(jìn)行,系統(tǒng)需要具備穩(wěn)定的高溫控制能力和良好的熱傳導(dǎo)性能。

      高溫環(huán)境有助于促進(jìn)化學(xué)反應(yīng)的進(jìn)行和碳化硅晶體的生長(zhǎng)。

設(shè)備參數(shù):

·         運(yùn)行 4 個(gè)系統(tǒng),用于 150/200 mm SiC 工藝開發(fā)

·         由德國(guó)弗勞恩霍夫研究所(Fraunhofer Institute)提供支持的全面材料表征能力

·         通過(guò)碳化硅工藝演示/開發(fā)和培訓(xùn)為客戶提供支持

·         150 mm 200 mm – 支持雙晶圓尺寸 – 為您的未來(lái)投資提供保障


·         市場(chǎng)上高的晶圓產(chǎn)量 / m2


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