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簡要描述：VPG 300 DI 無掩模直接成像儀是一款體積圖案發(fā)生器，專為在 i 線光刻膠中直接寫入高分辨率微結構而設計。它源自掩模制作工具，具有所有先進的 VPG 系統(tǒng)組件，能夠以最高的精度和準確度進行書寫。最大寫入?yún)^(qū)域覆蓋 300 mm 晶圓。
產(chǎn)品型號：VPG 300廠商性質：經(jīng)銷商更新時間：2024-08-27訪 問 量： 337產(chǎn)品分類
Product Category詳細介紹
| 寫入模式 | 我 | 第二 |
|---|---|---|
| 寫作表現(xiàn) | ||
| 最小特征尺寸 [μm] | 0.5 | 0.8 |
| 最小行數(shù)和間距 [μm] | 0.8 | 1.2 |
| 地址網(wǎng)格 [nm] | 4 | 8 |
| 邊緣粗糙度 [3σ， nm] | 30 | 40 |
| CD均勻度 [3σ， nm] | 50 | 60 |
| 2鼈層對齊（全局）[nm] | 100 | 130 |
| 寫入速度 [mm2/分鐘] | 340* | 1020* |
| *快速模式：680 和 2056 mm2/min，具有相似的性能，但沒有規(guī)格 | ||
| 100 x 100 mm 的曝光時間2面積 [min] | 39 | 17 |
| 系統(tǒng)特點 | ||
|---|---|---|
| 光源 | 355 nm 的高功率 DPSS 激光器 | |
| 最大基板尺寸和寫入面積 | 300 x 300 毫米2 | |
| 基板厚度 | 0 至 12 mm （可根據(jù)要求提供其他厚度） | |
| 最大曝光面積 | 300 x 300 毫米2 | |
| 自動對焦 | 實時自動對焦系統(tǒng)（光學和氣動） | |
| 自動對焦補償范圍 | 高達 80 μm | |
| 流量箱 | （閉環(huán)）溫控環(huán)境試驗箱 | |
| 對準和計量 | 用于測量和對準的相機系統(tǒng)和軟件包 | |
| 其他功能和選項 | 100、150、200 和 300 mm 晶圓的全自動處理和預對準。光學邊緣檢測、頂部對準以及可選的紅外和背面對準。Zerodur® 載物臺和高分辨率差分干涉儀 | |
| 系統(tǒng)尺寸 | ||
| 系統(tǒng) / 電子機架 | ||
| 寬度 [mm] | 2605 / 800 | |
| 深度 [mm] | 1652 / 650 | |
| 高度 [mm] | 2102 / 1800 | |
| 重量 [kg] | 3550 / 180 | |
| 安裝要求 | ||
| 電氣 | 400 VAC ± 5 %， 50/60 Hz， 16 A， 3 相 | |
| 壓縮空氣 | 6 - 10 巴 |
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