1 產(chǎn)品概述:

   刻蝕設(shè)備是半導(dǎo)體制造、微電子加工及光電子器件生產(chǎn)中的關(guān)鍵設(shè)備之一。它利用化學(xué)或物理方法，通過選擇性去除材料表面的部分區(qū)域，以形成所需的圖案或結(jié)構(gòu)。刻蝕設(shè)備的發(fā)展與光刻技術(shù)、互連技術(shù)等密切相關(guān)，是芯片制造流程中環(huán)節(jié)。隨著半導(dǎo)體工藝技術(shù)的不斷進(jìn)步，刻蝕設(shè)備也在不斷升級，以滿足更高精度、更高效率、更低損傷的加工需求。

2 設(shè)備用途：

刻蝕設(shè)備的主要用途包括：

1. 半導(dǎo)體芯片制造：在集成電路（IC）制造過程中，刻蝕設(shè)備用于在硅片上刻蝕出晶體管、電容器、電阻器等微細(xì)電路結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)構(gòu)成了芯片內(nèi)部的電子元件，決定了芯片的功能和性能。

2. 平板顯示器制造：在液晶顯示器（LCD）和有機(jī)發(fā)光二極管顯示器（OLED）等平板顯示器的制造過程中，刻蝕設(shè)備用于制作像素、透明導(dǎo)電層等關(guān)鍵結(jié)構(gòu)。

3. 微電子元件制造：刻蝕設(shè)備還廣泛應(yīng)用于制造傳感器、MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）、納米器件等微小尺度的電子元件。

3 設(shè)備特點(diǎn)

刻蝕設(shè)備具有以下幾個顯著特點(diǎn)：

• 高精度：刻蝕設(shè)備能夠?qū)崿F(xiàn)微米甚至納米級別的加工精度，確保芯片和其他微納器件的結(jié)構(gòu)精確無誤。

• 高效率：通過先進(jìn)的工藝技術(shù)和設(shè)備設(shè)計(jì)，刻蝕設(shè)備能夠在短時間內(nèi)完成大量加工任務(wù)，提高生產(chǎn)效率。

• 低損傷：在刻蝕過程中，設(shè)備采用溫和的刻蝕方法和精確的控制技術(shù)，以減少對材料表面的損傷和破壞。

• 多功能性：刻蝕設(shè)備通常具有多種工作模式和加工能力，可以適應(yīng)不同材料和結(jié)構(gòu)的加工需求。

  4 技術(shù)參數(shù)和特點(diǎn)：

  除單腔之外，另可搭載有磁場ICP（ISM）或NLD等離子源、去膠腔體、CCP腔體等對應(yīng)多種刻蝕工藝。

  為實(shí)現(xiàn)制程再現(xiàn)性及安定性搭載了星型電及各種調(diào)溫技能。

  擁有簡便的維護(hù)構(gòu)造，提供清洗、維護(hù)及人員訓(xùn)練服務(wù)等綜合性的售后服務(wù)體制。

  門的半導(dǎo)體技術(shù)研究所會提供完備的工藝支持體制。