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芯片刻蝕機

簡要描述:ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機,先進的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

  • 產(chǎn)品型號:ELEDE® 380系列
  • 廠商性質:經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 287

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

ELEDE® 380系列 芯片刻蝕機,先進的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬。

2. 設備用途/原理

先進的等離子體發(fā)生裝置,適用多種材料刻蝕,工藝窗口寬多片式托盤,實現(xiàn)高產(chǎn)能,同時確保優(yōu)異的刻蝕均勻性。全路徑全真空,全自動晶圓傳輸,顆??刂苾?yōu)。工藝套件設計,更長的耗材壽命。

3. 設備特點

晶圓尺寸4、6 英寸及特殊尺寸。適用材料  藍寶石、氮化鎵、氧化硅 / 氧化鈦、砷化鎵、磷化鎵、鋁鎵銦磷、氧化硅、氮化硅、鈦鎢、有機物。適用工藝 PSS 刻蝕、電刻蝕、深槽隔離刻蝕、介質反射層(DBR)刻蝕、紅黃光刻蝕、鈍化層刻蝕、金屬阻擋層刻蝕。適用域化合物半導體

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