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鋁物理氣相沉積系統(tǒng)

簡要描述:eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng),優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),有效提高薄膜均勻性及靶材利用率。

  • 產(chǎn)品型號:eVictor Al PVD
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 554

詳細介紹

1. 產(chǎn)品概述

eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng),優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),有效提高薄膜均勻性及靶材利用率。

2. 設備用途/原理

eVictor Al PVD 鋁物理氣相沉積系統(tǒng),優(yōu)良的磁控濺射系統(tǒng),有效提高薄膜均勻性及靶材利用率加熱基座和高溫靜電卡盤設計,具備良好的溫度均勻性全新雙腔傳輸平臺,可配置性強,多可支持 10 個工藝模塊,優(yōu)質(zhì)的 Whisker 解決方案,降低產(chǎn)品缺陷大產(chǎn)能,低運營成本。

3. 設備特點

晶圓尺寸 8、12 英寸,適用材料 高溫鋁、氮化鉭、氮化鈦。適用工藝 熱鋁、鋁焊盤、鋁線,適用域 新興應用。

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