當(dāng)前位置:首頁 > 產(chǎn)品中心 > 半導(dǎo)體分析測試設(shè)備 > 分析測試設(shè)備 > SENTECH SENDIRA薄膜計(jì)量紅外光譜橢圓儀
簡要描述:SENTECH SENDIRA 專為紅外 (FTIR) 而設(shè)計(jì)。這款緊湊的臺(tái)式儀器包括吹掃橢偏儀光學(xué)元件、計(jì)算機(jī)控制的測角儀、水平樣品平臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光譜范圍內(nèi)提供出色的精度和高分辨率。
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1. 產(chǎn)品概述
SENTECH SENDIRA 為紅外 (FTIR) 而設(shè)計(jì)。這款緊湊的臺(tái)式儀器包括吹掃橢偏儀光學(xué)元件、計(jì)算機(jī)控制的測角儀、水平樣品平臺(tái)、自動(dòng)準(zhǔn)直望遠(yuǎn)鏡、商用 FTIR 和 DTGS 或 MCT 檢測器。FTIR 在 400 cm-1 至 6,000 cm-1 (1.7 μm – 25 μm) 的光譜范圍內(nèi)提供出色的精度和高分辨率。
2. 主要功能與優(yōu)勢
測量靈活性
SENTECH SENDIRA 橢圓偏振光譜儀可測量散裝材料、單層和多層堆疊的薄膜厚度、折射率、消光系數(shù)和相關(guān)特性。該工具可用于覆蓋在可見范圍內(nèi)不透明的層下方的層,使其可用于測量??梢苑治霾牧系慕M成以及較大分子基團(tuán)和鏈的取向。
橢圓振動(dòng)光譜
利用紅外光譜中分子振動(dòng)模式的吸收帶分析了薄層的組成。此外,載流子濃度可以用這種FTIR光譜橢偏儀測量。
適用的傅里葉變換紅外
對于 Thermo Fisher Scientific 光譜儀的商用 FTIR iS50,安裝了紅外橢偏儀光學(xué)元件。它也可用于一般振動(dòng)光譜法。
精確的測量和準(zhǔn)確的結(jié)果
SENTECH SENDIRA注于薄層的振動(dòng)光譜分析。應(yīng)用范圍從介電薄膜、TCO 和半導(dǎo)體到有機(jī)層。SENDIRA 由 SpectraRay/4 軟件操作。另外還提供FTIR軟件。
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