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當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體前道工藝設(shè)備  >  1 光刻設(shè)備  >  CPC15/35/80/120/150CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)

CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)

簡(jiǎn)要描述:CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。

  • 產(chǎn)品型號(hào):CPC15/35/80/120/150
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-10
  • 訪  問(wèn)  量: 881

詳細(xì)介紹

一、CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品介紹

CIF推出的CPC系列生產(chǎn)型等離子清洗機(jī)是為研發(fā)型客戶和工業(yè)級(jí)客戶而設(shè)計(jì)的等離子體表面處理設(shè)備,配置豐富,且真空腔體里可分層,適合大多數(shù)生產(chǎn)場(chǎng)景。適用于等離子清洗,活化以及刻蝕等多種應(yīng)用,設(shè)備可在嚴(yán)苛環(huán)境下穩(wěn)定運(yùn)行,產(chǎn)品性能穩(wěn)定,樣品處理重復(fù)性、一致性好。

二、CIF 生產(chǎn)型等離子清洗機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面,圖形化用戶操作界面顯示,自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài),0~99個(gè)配方程序,可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù),機(jī)器運(yùn)行、停止提示。

2. PLC工控機(jī)控制整個(gè)清洗過(guò)程,手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。

3. 采用質(zhì)量流量計(jì),氣體流量控制更準(zhǔn)確。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng),可選多氣路氣體輸送系統(tǒng),氣體分配均勻??奢斎胙鯕?、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合氣體等氣體。

4. 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式,改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。

5. HEPA高效過(guò)濾,氣體返填吹掃,防止二次污染。

6. 316不銹鋼真空倉(cāng),潔凈無(wú)污染。

7. 全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)。

8. 處理高效均勻,效率高,工藝重復(fù)性好。

9. 合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),設(shè)備占用空間小。

10. 可處理各種材質(zhì)、形狀、尺寸樣品。

11. 樣品處理溫度低,無(wú)熱損傷和熱氧化。

12. 使用成本低、耗損小。

13. 產(chǎn)品性能穩(wěn)定,安裝與維護(hù),簡(jiǎn)便方便。

14. 安全保護(hù),倉(cāng)門(mén)打開(kāi),自動(dòng)關(guān)閉電源。

三、技術(shù)參數(shù)

型號(hào)

CPC15

CPC35

CPC80

CPC120

CPC150

艙體尺寸

W240xH240xD260mm

W320xH320xD350mm

W420xH400xD500mm

W500xH500xD450mm

W500xH500xD600mm

艙體容積

15L

35L

80L

120L

150L

有效尺寸

W210xD245mm

W300xD335mm

W400xD490mm

W500xxD440mm

W500xxD590mm

電極分布

2層

3-4層

6層

8-10層

10-15層

射頻電源

13.56MHz, 0-300W

13.56MHz, 0-300W

13.56MHz,0-600W

13.56MHz,0-1000W

13.56MHz,0-1000W

匹配器

自動(dòng)匹配器

激發(fā)方式

電容式

電 流

1.2A

時(shí)間設(shè)定

1-99分59秒

氣體穩(wěn)定時(shí)間

1分鐘

真空度

100pa以內(nèi)

控制系統(tǒng)

7寸PLC觸摸屏控制

工藝氣體

2氣路 MFC(可選裝3路)

真空泵

抽速約8m3/h

抽速16m3/h

抽速40m3/h

抽速60m3/h

抽速約60m3/h

電 源

AC220V 50-60Hz

AC220V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

AC380V 50-60Hz

備注:根據(jù)用戶要求,可選中頻電源40KHz,功率300-2000W。







 

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