国产成人精品三上悠亚久久-日韩av在线永久免费观看-国产在线精品欧美日韩电影-亚洲男人的天堂色偷免费

歡迎來到深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司網(wǎng)站!
咨詢熱線

當(dāng)前位置:首頁(yè)  >  產(chǎn)品中心  >  半導(dǎo)體分析測(cè)試設(shè)備  >  分析測(cè)試設(shè)備  >  SENTECH SLI激光干涉儀

激光干涉儀

簡(jiǎn)要描述:用于SENTECH Instruments等離子系統(tǒng)的SENTECH SLI激光干涉儀端點(diǎn)監(jiān)測(cè)器與聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿過等離子系統(tǒng)的頂部視口,并被樣品反射。反射光照射到檢測(cè)器上并測(cè)量強(qiáng)度。

  • 產(chǎn)品型號(hào):SENTECH SLI
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時(shí)間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 322

相關(guān)文章

Related Articles

詳細(xì)介紹

1. 產(chǎn)品概述

用于SENTECH Instruments等離子系統(tǒng)的SENTECH SLI激光干涉儀端點(diǎn)監(jiān)測(cè)器與聚焦的相干激光束一起工作。激光束穿過等離子系統(tǒng)的頂部視口,并被樣品反射。反射光照射到檢測(cè)器上并測(cè)量強(qiáng)度。

2. 主要功能與優(yōu)勢(shì)

用于蝕刻和沉積工藝的自動(dòng)激光終點(diǎn)檢測(cè)

使用SENTECH SLI激光干涉儀進(jìn)行原位測(cè)量特別適用于監(jiān)測(cè)透明層的終點(diǎn)檢測(cè)、透明層界面的終點(diǎn)檢測(cè)以及蝕刻不透明薄膜和在界面上停留的終點(diǎn)檢測(cè)。

多層模式順序端點(diǎn)配方

多終點(diǎn)配方包括 EPD 的多個(gè)條件,這些條件按順序執(zhí)行,從而可以在多層蝕刻過程中根據(jù)單個(gè)薄膜特性更改等離子體工藝參數(shù)。

SENTECH操作軟件SIA集成的終點(diǎn)檢測(cè)

SENTECH SLI激光干涉儀可以與SENTECH操作軟件SIA集成,用于特定的終點(diǎn)檢測(cè)配方,通過使用簡(jiǎn)單的行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)命令行直接參數(shù)化終點(diǎn)監(jiān)測(cè)。

3. 靈活性和模塊化

SENTECH SLI 激光干涉儀原位光學(xué)計(jì)量終點(diǎn)監(jiān)測(cè)儀可與整個(gè)系列的 SENTECH 等離子蝕刻和沉積處理系統(tǒng)一起使用,它與穿過等離子系統(tǒng)頂部視口的聚焦相干激光束一起工作,然后被樣品反射以準(zhǔn)確測(cè)量強(qiáng)度。

單獨(dú)的照明 LED) 和 CCD 攝像頭用于觀察樣品和調(diào)整激光光斑。整個(gè)終點(diǎn)監(jiān)視器由自動(dòng) x y 載物臺(tái)移動(dòng),允許使用 SENTECH SIA 操作軟件系統(tǒng)輕松進(jìn)行點(diǎn)調(diào)整。

使用 SENTECH SLI 激光干涉儀進(jìn)行自動(dòng)原位測(cè)量非常適合在蝕刻或生長(zhǎng)透明層或?qū)訝罱Y(jié)構(gòu)時(shí)監(jiān)測(cè)層厚度。


產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請(qǐng)輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
传媒视频在线观看完整版| 无人码人妻一区二区三区| 国产真实精品久久二三区| 99热这里只有精品在线| 欧美黄色一级在线免费观看| 欧美伊人色综合久久天天 | 啪啪少妇啪啪午夜福利被窝| 黄色大全欧美在线观看| 免费观看成人性生交大片| 精品不卡av一区二区三区| 亚洲综合色区中文字幕| 青青青手机视频免费观看| 五月草白白色视频在线观看| 日本一区二区精美视频| 精品亚洲一区二区三区四区 | 一级片一区二区中文字幕| 内射视频福利在线观看| 99久久免费热在线观看| 加勒比国产精品综合久久| 亚洲欲色成人久久精品| 久久精品久99精品免费| 四虎成人精品在线观看| 亚洲国内在线视频一区二区| 九九热精品视频在线免费看| 日韩有码中文字幕一区| 亚洲福利区一区二区三区| 国产av一区二区三区天堂| 成年人网站一级黄色免费| 国产精品久久99真精品| 尤物国产精品福利在线网| 人妻中文字幕精品在线| 欧美白浆精品一区二区| 91国产网址在线观看| 91精品国产免费人成网站| 精品欧美国产日韩在线观看| 成人福利网站午夜一区| 美女床上激情啪啪网页| 久久精品成人一区二区| 视频在线国产一区二区| 久久亚洲精品综合一区| 韩国av在线播放网站|