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測量系統(tǒng)

簡要描述:DSM8/200 Gen2測量系統(tǒng)
用于研發(fā)和大量產(chǎn)的對準(zhǔn)測量
SUSS DSM為廣泛的應(yīng)用和基板提供從正面到反面的測量。測量結(jié)果詳細(xì)列出了了偏移矢量的各個分量:平移、旋轉(zhuǎn)和跳動。該系統(tǒng)所需占地面積很小,因此擁有成本低。同時,它為雙面的對準(zhǔn)與曝光應(yīng)用提供了可靠、極其精確的測量,這些是MEMS器件、功率半導(dǎo)體和光電子制造中會經(jīng)常用到的。

  • 產(chǎn)品型號:DSM8/200 Gen2
  • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
  • 更新時間:2024-09-05
  • 訪  問  量: 327

詳細(xì)介紹

1.產(chǎn)品概述:

DSM8/200 Gen2測量系統(tǒng)用于研發(fā)和大量產(chǎn)的對準(zhǔn)測量SUSS DSM為廣泛的應(yīng)用和基板提供從正面到反面的測量。測量結(jié)果詳細(xì)列出了了偏移矢量的各個分量:平移、旋轉(zhuǎn)和跳動。該系統(tǒng)所需占地面積很小,因此擁有成本低。同時,它為雙面的對準(zhǔn)與曝光應(yīng)用提供了可靠、其精確的測量,這些是MEMS器件、功率半導(dǎo)體和光電子制造中會經(jīng)常用到的。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢

≤ 0.2 µm的測量精度

雙面/單面對準(zhǔn)測量

可選的紅外照明

高吞吐量、占地面積小,帶來低擁有成本

可提供定制的基板把持解決方案

3.產(chǎn)品工藝

雙面基板的精確測量

SUSS MicroTec在雙面光刻工藝方面有超過40年的經(jīng)驗(yàn)。雙面基板的加工,需要精確的測量來驗(yàn)證從正面到反面的對準(zhǔn)。DSM8 Gen2測量設(shè)備是一個基于工藝菜單的系統(tǒng),可自動測量、自校準(zhǔn),手動裝/卸載基板。這確保了不受操作者技能影響的高性能。全自動的DSM200 Gen2還有一個基板把持機(jī)器人系統(tǒng),可提供定制的把持選項(xiàng),包含測量卡盤??蛇x的紅外照明功能,實(shí)現(xiàn)了穿透硅片的測量能力。

精確的雙顯微鏡測量

使用單臺顯微鏡并透視基板,會受到光衍射和機(jī)械公差引起的系統(tǒng)偏移的影響。SUSS DSM采用雙顯微鏡技術(shù),直接觀察對準(zhǔn)特征,且沒有移動,從而消除了這一問題。該系統(tǒng)還集成了Cognex公司的PatMax®圖像分析軟件,以經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的穩(wěn)定性提供最佳精度。

TIS補(bǔ)償后的精度

為了達(dá)到最佳的測量精度,需要消除機(jī)械性的設(shè)備所致位移(TIS)。SUSS DSM通過比較基板在0°和180°時的測量結(jié)果實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)。利用Cognex PatMax®的功能,對旋轉(zhuǎn)的目標(biāo)圖像進(jìn)行圖像配準(zhǔn),再計(jì)算出精確的偏移。




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