簡要描述:該系列設備適用來鍵合晶片到載具(襯底,陶瓷盤等),操作簡單,搭配不同夾具可實現(xiàn)不同尺寸,不同厚度晶片的鍵合。該系列設備具有兩種模式,半自動和全自動模式。半自動液體蠟貼片機實現(xiàn)自動取片,需要手動搬運陶瓷盤。全自動液體蠟貼片機實現(xiàn)全自動貼片,陶瓷盤搬運等功能。
詳細介紹
1. 產品概述:
全自動液體蠟貼片機是一種高度自動化的設備,主要用于在半導體制造過程中,將晶片(如硅片)精確地鍵合到載具(如陶瓷盤)上。該設備通過自動化流程,如滴蠟、甩蠟、烘烤、貼片、加壓和冷卻等步驟,完成晶片的貼附工作。
2. 設備用途/原理:
全自動液體蠟貼片機集成了機-電-光和計算機控制系統(tǒng)技術,通過精密的機械手或傳動系統(tǒng),實現(xiàn)晶片的自動取放、定位、涂蠟、烘烤和壓片等操作。整個過程中,設備能夠精確地控制每個步驟的參數(shù),如甩蠟轉速、烘烤溫度、壓片力度等,以確保晶片貼附的精度和質量。全自動液體蠟貼片機廣泛應用于半導體制造、微電子封裝、光電技術等領域,是這些行業(yè)中關鍵設備之一。它能夠提高生產效率、降低生產成本、提升產品質量,并有助于推動相關產業(yè)的技術進步和產業(yè)升級。
3. 設備特點
1 高度自動化:全自動液體蠟貼片機能夠實現(xiàn)從晶片取放到最終貼附的全程自動化,減少人工干預,提高生產效率和一致性。
2 高精度:設備采用先進的控制系統(tǒng)和精密的機械結構,能夠確保晶片貼附的精度和位置準確性。
3 多功能性:通過搭配不同的夾具和工藝參數(shù),該設備可以適應不同尺寸、不同厚度的晶片貼附需求。
4 易操作性:設備通常采用PLC觸摸屏控制,界面友好,操作簡便,易于上手和維護。
4. 性能參數(shù)
規(guī)格/參數(shù) | TLB-360FM | TLB-485FM |
晶圓尺寸 | 2-6 inch | 4-8 inch |
陶瓷盤規(guī)格 | OD360 mm | OD485 mm |
上片方式 | 全自動 | 全自動 |
清洗工位 | 純水+PVA刷 | 純水+PVA刷 |
甩蠟轉速 | 0-3000 RPM | 0-3000 RPM |
烘烤溫度 | Max350℃ | Max350℃ |
壓片裝置 | 氣囊+氣缸二段壓片 | 氣囊+氣缸二段壓片 |
加熱溫度 | Max250℃ | Max250℃ |
陶瓷盤冷卻系統(tǒng) | 有 | 有 |
產品咨詢