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Nikon NSR 2005i8A 1、Nikon NSR 2005i8A步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.5µm 主要用于2寸、4寸、6寸、8寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.5µm N.A.0.6 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場(chǎng)20mm*20mm 對(duì)準(zhǔn)精度LSA：120nm FIA：130nm

1、Nikon NSR 1755/1505i7A/B步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長365nm 分辨率優(yōu)于0.6µm 主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.6µm N.A.0.6 曝光光源365nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場(chǎng)15mm*15mm 17.5mm*17.5mm 對(duì)準(zhǔn)精度140nm

Nikon NSR G線光刻機(jī) 1、Nikon NSR G線步進(jìn)式光刻機(jī) 光源波長436nm 分辨率優(yōu)于0.65µm 主要用于2寸、4寸、6寸生產(chǎn)線 廣泛應(yīng)用于化合物半導(dǎo)體、MEMS、LED等領(lǐng)域 2、產(chǎn)品詳情 主要技術(shù)指標(biāo) 分辨率0.65µm N.A.0.6 曝光光源436nm 倍率5:1 最大曝光現(xiàn)場(chǎng)15mm*15mm 17.5mm*17.5mm 對(duì)準(zhǔn)精度140nm